間接分割器（Dicer）是半導(dǎo)體行業(yè)中常用的切割工藝工具，用于將晶圓切割成單個芯片。與常規(guī)的直接分割器（Scriber）不同，間接分割器采用了一種更加安全和可靠的切割方式。下面將詳細(xì)介紹為什么間接分割器在半導(dǎo)體工藝中廣泛使用的原因。

　　1.安全性：

　　直接分割器在切割過程中需要施加較大的力量，通常使用鉆石刀片通過直接擠壓和劃割晶圓來實現(xiàn)分割。這種方式存在一定的安全隱患，因為刀片可能在切割過程中破裂或跳出，導(dǎo)致傷害和破壞晶圓。而間接分割器采用了激光切割或離子束切割等非接觸式分割技術(shù)，不需要直接接觸晶圓，極大地提高了操作安全性。

　　2.切割質(zhì)量：

　　直接分割器在切割過程中容易產(chǎn)生切割線上的毛刺、晶圓的邊緣損傷以及裂紋等問題，這對于半導(dǎo)體芯片的性能和可靠性有一定的影響。而間接分割器使用的非接觸式切割技術(shù)可以更準(zhǔn)確地控制分割線的位置和形狀，能夠?qū)崿F(xiàn)更加平整和精細(xì)的分割，提高芯片的質(zhì)量和可靠性。

　　3.生產(chǎn)效率：

　　直接分割器的切割速度受到刀片的限制，需要較長的時間來完成分割過程。而間接分割器采用的激光或離子束切割技術(shù)快速有效，可以大大提高生產(chǎn)效率。此外，間接分割器還可以實現(xiàn)多芯片的同時切割，進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率。

　　4.適用范圍：

　　直接分割器的切割范圍受限于刀片的尺寸和形狀，只能適用于較小尺寸的晶圓。而間接分割器在切割過程中沒有受到刀片形狀和尺寸的限制，可以適應(yīng)不同大小和形狀的晶圓，具有更大的適用范圍。

　　綜上所述，間接分割器在半導(dǎo)體清洗工藝中廣泛使用，主要是由于其安全性高、切割質(zhì)量好、生產(chǎn)效率高以及適用范圍廣等優(yōu)勢。這些特點使得間接分割器成為半導(dǎo)體行業(yè)中不可或缺的重要工具。